Smart concepts reliable solutions

Meetapparaat thermische weerstand lineairmotoren

Meet- en testtool voor het bepalen van onder andere de thermische weerstand van lineair motoren ten behoeve van ASML. De tool is voorzien van een zeer uitgebreide user interface die voorziet in receptuur per motor type, procesbewaking en data logging. Tijdens de meetcyclus met verschillende stromen en spanningen die gemiddeld 1,5 uur duurt, wordt de temperatuur van de motor op ±0,1°C constant gehouden.



« Terug naar het overzicht